News
[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정
작성자 최고관리자
작성일 22-08-11 13:43
조회수 293

본문

[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정 넥센서, 

SIMTOS 2022에서 현미경 간섭계 센서 선보여 


[산업일보]

심토스(SIMTOS) 2022에 참가한 넥센서(nexensor)가 현미경 간섭계 센서를 비롯해 다양한 측정 솔루션을 참관객들에게 소개했다.


7d89fb1ebabbc43e1223d12824fbfcb4_1660193998_381.png

이 회사 성현석 영업이사는 “간섭 측정법을 적용한 현미경 간섭계 센서 nXI-5는 작은 영역을 대상으로 정밀한 측정이 가능하다. 조도·두께·단차 측정이 가능해 

반도체의 미세 구조 측정, 범프, 거칠기, 디스플레이의 컬럼 스페이서, 표면 구조 등을 측정할 수 있다”라고 했다.


[출처] 산업일보 [심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정