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Product

(주)넥센서는 완벽한 측정 기술력으로 미래를 지향합니다.

XI-M12
Surface Profilometer

현미경 광학계부터 초고속 대면적 광학계까지 고객사양에 맞도록 제작이 가능하며,
단층박막에 대한 형상 및 u-bump, 미세패턴 같이 세밀하거나 좁은 깊이를 가진
제품의 3D 표면 형상 측정이 가능합니다.

좌우로 드래그 가능합니다.
사양
FOV 12mm X 12mm 대면적 및 현미경 구조 제작 가능
반복능 < 0.1 um 표준시편 기준
측정속도 < 0.5 sec 100um Height 기준
검사항목 단층 박막두께 및 형상 측정, Warpage, Height 등 표면 형상 측정
XF-1000
Free Form Metrology

자유곡면을 가진 경면 재질 제품의 실시간 3D형상 검사가 가능합니다.
반도체 웨이퍼의 Warpage와 박막 제품의 나노미터 수준의 Dent
글라스 제품의 3D 외관검사가 가능합니다.

좌우로 드래그 가능합니다.
사양
장비 사이즈 800mm X 800mm X 1500mm WDH
검사시간 < 0.5 sec
FOV 100mm X 100mm 변경 가능
전원 AC 220V
검사항목 3D Warpage, Dent 글라스, 자유곡면