3D Free-Form Measuring
nXF-3
자유 곡면 측정 시스템
다양한 곡면&경면/거친면을 가진 제품의 3D 표면형상측정
nXF-3는 Deflectometry를 적용, 세계최초로 웨이퍼나 필름같이
반사율이 높거나 투명한 제품의 휨(Warp & Bow)이 측정 가능한 제품 입니다.
단순히 제품의 표면 형상 뿐만 아니라 정량적이고 정확한 측정값을 제공하여
공정의 안정화 및 효율성을 높여주고 있습니다. 또한 다양한 경면재질의
표면 형상 측정 및 검사도 가능해 필름 표면, 이차전지 파우치, 수소전지 박판,
자동차 도장 등의 휨, 찍힘 등을 높은 신뢰성으로 측정합니다.
Key Features
· 반짝이거나 투명한
제품 표면 검사
· 다양한 F.O.V 적용 가능
· 양산라인 적용 가능
· 높은 정밀도
· 간단한 측정 프로세스
· 다양한 데이터 분석
· 손쉬운 사용자 인터페이스
Application
세계 최초 웨이퍼 경면/거친면
동시측정 기술개발
Wheel Mark
Wafer Warpage
Battery
Automotive
Specifications
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측정모델 측정기술 테스트내용 측정데이터
WSI간섭계 대면적 측정
FOV 확대 적용
Micro Bump Height
단층 박막 두께 측정
PCB 미세 패턴
가공 표면 거칠기 측정
센서 단차 측정
Free-Form Metrology
제품 곡면 각도에 따라 분할 검사도 가능함
렌즈, 유리 표면 검사 및 형상 측정
OLED 표면 검사 및 형상 측정
웨이퍼 표면 검사 및 형상 측정
투명, 반투명 제품의 실시간 두께 측정
Multi Ch. 적용 가능
웨이퍼(실리콘, 사파이어) 두께 측정
유리 및 필름 두께 측정